按照工作原理的区别对废气治理设备进行分类，可大致分为四种：种是废气处理吸收设备。它主要是利用一些不容易进行挥发的溶液对废气进行吸收并且进行分离的工作方法，对于这种设备可以进行回收再利用，所以它具有环保的功能。第二种是废气处理吸附设备。它主要是利用多孔物质对废气进行吸附并且使其进行脱落的过程，它的运行过程可以进行反复的操作，所以它的净化废气的效果比较明显。第三种是废气处理氧化催化设备。这种方法主要采用的是对这些废气进行氧化还原反应，生成水和二氧化碳，臭氧氧化处理工艺属于此类，其原理是利用臭氧发生器产生足量的臭氧（氧化性*）注入反应室与废气分子发生反应，产生无害无臭的物质排出。第四种是废气处理低温等离子设备。它主要运用的原理是在低温的环境下对废气进行分离的过程。  

    由于废气种类不一，一些废气还需各种废气处理设备结合的方式来处理，达到满意的排放效果。